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1200度滑动式快速退火炉博莱曼特

简要描述:1200度滑动式快速退火炉博莱曼特为一款滑轨式真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。炉体可以在滑轨上移动,可使炉管快速冷却;本机可在不同气氛下,在≤6″的基片上生长多种薄膜。

  • 产品型号:BLMT-1200GH
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-01-26
  • 访  问  量: 156

产品分类

Product Category

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
仪器种类管式炉产地类别国产
应用领域化工

1200度滑动式快速退火炉博莱曼特BLMT-1200GH详细介绍

 

1200度滑动式快速退火炉博莱曼特为一款滑轨式真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积处理。炉体可以在滑轨上移动,可使炉管快速冷却;本机可在不同气氛下,在≤6″的基片上生长多种薄膜。

控温仪表操作视频

 

产品型号

滑动式真空管式炉YB-1200GH

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:需要选配冷水机

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头)

主要特点

1、双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。壳体温度<70℃。

2、滑轨式结构,方便取放样品以及快速冷却。

3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

4、采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。

技术参数

1、电源:单相220V/380V 8KW

2、石英管:外径80mm,内径70mm,长1500mm

3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

4、加热区域:400mm

5、恒温区域:200mm

6、工作温度:≤1100℃,连续工作400-1000

7、升降温速率:≤10/min

8、控温精度:±1

9、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

10、热偶检测真空接口:KF-25口:1

11、进气接口:2路(可根据客户要求设计多路进气),精密不锈钢针阀密封

12、炉体:1300mm×680mm×920mm

13、滑轨:600mm

产品规格

尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg

标准配件

1

石英管堵

1

2

KF-25真空挡板阀

1

可选配件

1、软件接口

2K型热电偶(用于对炉膛温度校准)

3冷水机

4、高速双极旋片泵

5、数显真空计

6、高真空机组(机械泵和涡轮分子泵)

5、质量流量供气系统

6、石英样品架

7、可移动炉架(800mm×600mm

 

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